近日，晶盛機(jī)電成功研發(fā)出具有國(guó)際先進(jìn)水平的8英寸單片式碳化硅外延生長(zhǎng)設(shè)備，引領(lǐng)國(guó)內(nèi)碳化硅行業(yè)技術(shù)升級(jí)。該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)摻雜均勻性4%以內(nèi)的外延質(zhì)量，是晶盛機(jī)電在第三代半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的又一次重要技術(shù)突破。

8英寸單片式碳化硅外延生長(zhǎng)設(shè)備團(tuán)隊(duì)合影

        此前，晶盛機(jī)電已成功開發(fā)了6英寸碳化硅外延設(shè)備，技術(shù)性能和市占率均居國(guó)內(nèi)前列，取得了重要市場(chǎng)地位。此次8英寸單片式碳化硅外延生長(zhǎng)設(shè)備的成功研發(fā)，標(biāo)志著晶盛機(jī)電在碳化硅行業(yè)的技術(shù)研發(fā)能力邁上了新臺(tái)階，為國(guó)內(nèi)碳化硅行業(yè)技術(shù)、產(chǎn)能升級(jí)提供了充分的設(shè)備保障。

8英寸單片式碳化硅外延設(shè)備

        碳化硅作為、通信、光電、新能源等領(lǐng)域。相比于6英寸，8英寸碳化硅晶圓的邊緣損耗更小、可利用面第三代半導(dǎo)體材料，具有耐高溫、高電壓、高頻率、高功率等優(yōu)良性能，被廣泛應(yīng)用于電力積更大，未來通過產(chǎn)量和規(guī)模效益的提升，成本有望降低60%以上。晶盛機(jī)電的8英寸單片式碳化硅外延生長(zhǎng)設(shè)備，可為行業(yè)提供更為先進(jìn)的技術(shù)支持，推動(dòng)碳化硅行業(yè)的快速發(fā)展。

        據(jù)悉，8英寸單片式碳化硅外延設(shè)備可兼容6、8寸碳化硅外延生產(chǎn)，在6英寸外延設(shè)備原有的溫度高精度閉環(huán)控制、工藝氣體精確分流控制等技術(shù)基礎(chǔ)上，解決了腔體設(shè)計(jì)中的溫場(chǎng)均勻性、流場(chǎng)均勻性等控制難題，實(shí)現(xiàn)了成熟穩(wěn)定的8英寸碳化硅外延工藝。目前，在子公司晶瑞的8英寸襯底基礎(chǔ)上，已實(shí)現(xiàn)8英寸單片式碳化硅外延生長(zhǎng)設(shè)備的自主研發(fā)與調(diào)試，外延的厚度均勻性1.5%以內(nèi)、摻雜均勻性4%以內(nèi)，已達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。

工藝結(jié)果

8英寸外延片

        未來，晶盛機(jī)電將繼續(xù)秉持“打造半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)，發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)”的使命，持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā)投入，為碳化硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和科技進(jìn)步不懈努力。同時(shí)，公司將積極推進(jìn)綠色智能制造，努力實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的數(shù)字化、智能化和綠色化，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，為社會(huì)創(chuàng)造價(jià)值，作出更大貢獻(xiàn)。

誠(chéng)摯邀請(qǐng)

        了解更多8英寸碳化硅外延設(shè)備信息，歡迎您6月29日-7月1日，蒞臨上海半導(dǎo)體展會(huì)E6-201展位交流洽談。

展位效果圖