行業(yè)首創(chuàng) | 晶盛機電子公司慧翔電液12英寸橫向磁場首次突破5000Gs
發(fā)布時間：2023-09-10
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近日，晶盛機電子公司慧翔電液半導體級直拉單晶超導磁場研發(fā)取得新突破——12英寸干式橫向超導磁場首次突破5000Gs，這標志著慧翔電液成為國內(nèi)首家能穩(wěn)定量產(chǎn)5000Gs的MCZ超導磁體企業(yè)。
12英寸無液氦橫向磁場
晶盛機電控股子公司慧翔電液，自2016年起便專注于磁性流體密封技術(shù)、半導體單晶爐用超導磁體系統(tǒng)、尾氣處理裝置等研發(fā)銷售，技術(shù)和規(guī)模行業(yè)領(lǐng)先，是國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。此次慧翔電液12英寸干式橫向超導磁場突破5000Gs，打破了國內(nèi)穩(wěn)定量產(chǎn)中心磁場5000Gs的MCZ超導磁體企業(yè)為零的局面，奠定行業(yè)領(lǐng)先地位。
當前，國際上MCZ超導磁體制造企業(yè)以3000Gs-4500Gs為常規(guī)產(chǎn)品，實現(xiàn)更強磁場是行業(yè)重要突破方向。而在直徑1600mm以上室溫空間，產(chǎn)生高達5000Gs磁場，需要克服強大的電磁力并滿足無液氦的運行條件，對超導磁體設(shè)計、制造工藝等諸多方面都是巨大挑戰(zhàn)。本次慧翔電液自主研發(fā)的半導體級干式超導磁體中心磁場突破5000Gs，是多年來的技術(shù)沉淀與不懈創(chuàng)新的重大成果，意味著慧翔電液已具備與國際技術(shù)同步的超導磁體定制研發(fā)能力。
一直以來，晶盛機電始終聚力攻堅行業(yè)“卡脖子”技術(shù)難點，本次“5000Gs”的超導磁體到來，將極大地改善設(shè)備拉晶效果，為高端半導體拉晶工藝奠定基礎(chǔ)，滿足半導體行業(yè)直拉硅單晶工藝的差異化需求，助力客戶創(chuàng)造更大效益。
未來，晶盛機電將繼續(xù)秉承“先進材料、先進裝備”的發(fā)展戰(zhàn)略，搶占關(guān)鍵技術(shù)制高點，服務國家戰(zhàn)略安全，敢為人先，敢于突破，展現(xiàn)國產(chǎn)制造企業(yè)的責任擔當，為促進我國半導體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展貢獻更大力量。
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